1. Surowe powietrze pochodzi z powietrza, przechodzi przez filtr powietrza w celu usunięcia kurzu i innych cząstek mechanicznych, a następnie trafia do bezsmarowej sprężarki powietrza, gdzie jest sprężane przez dwustopniową sprężarkę do około 0,65 MPa(g). Przechodzi przez chłodnicę i wchodzi do jednostki wstępnego chłodzenia, gdzie zostaje schłodzone do temperatury 5~10℃.

Następnie trafia do oczyszczacza MS w celu usunięcia wilgoci, CO2 i wodoru z węgla. Oczyszczacz składa się z dwóch zbiorników wypełnionych sitami molekularnymi. Jeden jest używany, a drugi jest regenerowany azotem odpadowym z komory chłodniczej i poprzez podgrzewanie grzałką.

2. Po oczyszczeniu, niewielka część powietrza jest wykorzystywana jako gaz nośny dla rozprężarki turbiny, a pozostała część trafia do komory chłodniczej, gdzie jest schładzana przez refluks (czysty tlen, czysty azot i azot odpadowy) w głównym wymienniku ciepła. Część powietrza jest odprowadzana ze środkowej części głównego wymiennika ciepła i trafia do turbiny rozprężnej, gdzie wytwarza chłód. Większość rozprężonego powietrza przepływa przez podchładzacz, który jest chłodzony tlenem z górnej kolumny i dostarczany do górnej kolumny. Niewielka część powietrza przepływa przez obejście bezpośrednio do rury z azotem odpadowym i jest ponownie podgrzewana, aby wydostać się z komory chłodniczej. Pozostała część powietrza jest nadal schładzana do stanu bliskiego ciekłemu i przepływa do dolnej kolumny.

3. W dolnej kolumnie powietrze jest rozdzielane i skraplane jako ciekły azot i ciekłe powietrze. Część ciekłego azotu jest pobierana z górnej części dolnej kolumny. Ciekłe powietrze, po przechłodzeniu i dławieniu, jest dostarczane do środkowej części górnej kolumny jako refluks.

4. Tlen produktowy jest pobierany z dolnej części górnej kolumny i ponownie podgrzewany przez podchładzacz rozprężonego powietrza, główny wymiennik ciepła. Następnie jest odprowadzany z kolumny. Azot odpadowy jest pobierany z górnej części górnej kolumny i ponownie podgrzewany w podchładzaczu i głównym wymienniku ciepła, a następnie odprowadzany z kolumny. Część z niego jest wykorzystywana jako gaz regeneracyjny do oczyszczania MS. Czysty azot jest pobierany z górnej części górnej kolumny i ponownie podgrzewany w ciekłym powietrzu, podchładzaczu ciekłego azotu i głównym wymienniku ciepła, a następnie odprowadzany z kolumny.

5. Tlen z kolumny destylacyjnej jest sprężany i dostarczany klientowi.